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等離子清洗機(Plasma Cleaner)是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體達到常規清洗方法無(wú)法達到的效果。等離子清洗屬于干法清洗，清洗過(guò)程就是將熱化學(xué)氣體或等離子態(tài)反應氣體導入反應室，反應氣體與晶片表面發(fā)生化學(xué)反應生成易揮發(fā)性反應產(chǎn)物被真空抽去。

等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括：離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩態(tài)）、光子等。等離子清洗就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

我司射頻電源和自動(dòng)匹配器憑借穩定可靠的品質(zhì)，贏(yíng)得了廣大用戶(hù)的認可，已經(jīng)大批量廣泛應用于等離子清洗設備，從2016年開(kāi)始，已經(jīng)與國內幾大設備制造商建立了長(cháng)期穩定的合作。