射頻即Radio Frequency，通?？s寫(xiě)為RF。表示可以輻射到空間的電磁頻率，頻率范圍從300KHz～30GHz之間。RF射頻就是射頻電流，它是一種高頻交流變化電磁波的簡(jiǎn)稱(chēng)。每秒變化小于1000次的交流電稱(chēng)為低頻電流，大于10000次的稱(chēng)為高頻電流，而射頻就是這樣一種高頻電流。射頻電源是產(chǎn)生等離子體的配套電源,由射頻功率源，阻抗匹配器以及阻抗功率計組成，應用于射頻濺射，PECVD 化學(xué)氣相沉積，等離子清洗，反應離子刻蝕等設備中。