氣體質(zhì)量流量控制器 - 氣體質(zhì)量流量控制器

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氣體質(zhì)量流量控制器

WARWICK?系列氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）產(chǎn)品是經(jīng)過(guò)實(shí)踐驗證的適合多種應用場(chǎng)合的標準產(chǎn)品，流量精準度及性?xún)r(jià)比高，先進(jìn)的傳感器和閥控技術(shù)，經(jīng)過(guò)實(shí)地應用驗證的平臺組件以及高速的模擬/數字線(xiàn)路帶來(lái)最精準的氣體流量控制，可以滿(mǎn)足客戶(hù)在數值和功能上對于MFC的不同要求。適用于半導體，平板顯示，數據存儲，真空工業(yè)，ICP光譜設備及太陽(yáng)能晶硅制程等不同行業(yè)。

規格	MC-AN600	MC-AN601	MC-AN602	MC-AN610	MC-AN611
量程范圍	單氣體 2-5000SCCM	單氣體 5-50SLM	單氣體 30-200SLM	單氣體2-5000SCCM	單氣體 5-50SLM
閥門(mén)類(lèi)型	常開(kāi)式或常閉式螺線(xiàn)管
接頭	1/4〞VCR或1/4〞Swagelok
密封	橡膠			金屬
響應時(shí)間	到達設定點(diǎn)±2%所需時(shí)間≤1SEC		≤3SEC	到達設定點(diǎn)±2%所需時(shí)間≤1SEC
精確性	≤滿(mǎn)量程1%		≤滿(mǎn)量程2%	≤滿(mǎn)量程1%
線(xiàn)性度	≤滿(mǎn)量程±0.5%		≤滿(mǎn)量程±1%	≤滿(mǎn)量程±0.5%
重復性	≤滿(mǎn)量程±0.2%
壓差	7-40PSI		21-40PSI	7-40PSI
漏率	MAX:1X10ˉ7PA.M3/SEC（HE）			MAX:1X10ˉ11PA.M3/SEC（HE）
控制范圍	滿(mǎn)量程的2-100%
最高操作壓力	50PSI
承受壓力	最大值150PSI
通訊模式	模擬0-5V/4-20MA
輸入電壓	+15VDC ±2% at 50MA -15VDC ±2% at 150MA
控制信號	0-5VDC/4-20MA
輸出模擬信號	0-5VDC/4-20MA
功耗	3.1W		3.5W	3.1W
溫度范圍	5-45°
材料	316LSS,316SS,PTFE,KM45
重量	0.9KG		2.2KG	1.0KG	1.2KG

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