自動(dòng)匹配器 - 自動(dòng)匹配器 - 中山市凱美電子有限公司

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自動(dòng)匹配器

KVMEN? AM系列數字式自動(dòng)匹配器，采用目前先進(jìn)的數字式網(wǎng)絡(luò )匹配平臺，利用我們成熟的專(zhuān)業(yè)技術(shù)力量，AM自動(dòng)匹配器以快速、精確和可重復的方式，將等離子體的復阻抗與您期望的調諧范圍進(jìn)行匹配。與傳統模擬調諧方法相比，數字調諧算法和步進(jìn)電機驅動(dòng)可產(chǎn)生更快速，更精準和高重復的響應，始終都保持與負載的阻抗點(diǎn)相契合。

優(yōu)勢	功能
● 提高生產(chǎn)力、增加產(chǎn)量、降低生產(chǎn)成本 ● 長(cháng)期穩定的制程時(shí)間保證 ● 易于安裝和操作	● 快速、精確和可重復的阻抗匹配 ● 最佳的、可直接應用的功能，滿(mǎn)足多種應用領(lǐng)域需求 ● 多功率和頻率范圍

性能參數	AM-1310	AM-1315	AM-1320
頻率	13.56MHz ±0.005% （27.12MHz\40.68MHz ）
最大傳輸功率	1000w	1500W	2000W
反射功率（最大功率時(shí)）	<3w	<3w	<5w
最大負荷電流	30ARMS	30ARMS	30ARMS
最大負荷電壓	7500VRMS	7500VRMS	7500VRMS
傳輸效率	>90%
匹配時(shí)間	1~3s
主電容	雙真空電容
可匹配阻抗實(shí)部范圍	0~80Ω
可匹配阻抗虛部范圍	-j200~~+j200
RF輸出連接器	50 Ω, L29,銅帶輸出,可自定制
控制接口	自動(dòng)手動(dòng)控制窗口
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷+水冷
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
重量	7.5KG		8KG
尺寸	430mm（D）x220mm（W）x130mm（H）或可定制

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